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随着信息化时代的到来,微电子行业也在迅速发展,微电子厂给社会带来的经济效益及就业率有目共睹的,但随之而来的还有对大气的污染。由于微电子行业对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此微电子行业废气排放具有排气量大、