各单元操作特征：①投料：小量敏感微电子行业废气处理方案物料使用真空抽料，大量的敏感物料使用泵投料或泵输送至高好的微电子行业废气处理位槽投料;②反应：反应釜的放空口经冷凝回收溶剂后排空;③溶剂回收：蒸馏釜的放空口经冷凝回收后排空，若使用减压蒸馏，则废气进入真空系统后外排，回收的溶剂暂存至接收罐;④过滤、离心：使用敞口式离心机或敞口式过滤器，采用密闭离心机、过滤器出料时敏感物料直接暴露空气中;⑤烘干：烘干废气进入缓冲罐后排放，出料时敏感物料直接暴露于空气中溶剂废气排放特点主要跟医药医药生产工艺特点有关,具体表现在：1)排放点多,排放量大,无组织排放严重。

多数情况下，石油好的微电子行业废气处理化医药因排气浓度高，采用冷凝、吸收、直接燃烧等方法；涂料施工、印刷等行业因排气浓度低，采微电子行业废气处理方案用吸附、催化燃烧等方法。医药废气处理设备净化效率高：医药废气处理设备采用二级逆向喷淋，填料比表面积大，废气净化效率均可达85%~95%。医药废气处理设备阻力低：远远低于活性炭废气处理，节能。医药废气处理设备占地面积小：医药废气处理设备采用PP、FRP等材质，便于现场安装及操作管理，占地面积小，对新建工程还是技改项目都可适应。

由于生产过程中易燃、易爆物质多,反应微电子行业废气处理方案过程激烈,生产事故风险大,加上生产装备水平和工艺技术水平较低及管微电子行业废气处理方案理不善,造成“跑冒滴漏”等事故排放多。废气处理设备主要分为以下5种处理方法废气处理设备主要分为以下几种：1.吸收设备吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用废气处理塔VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。含VOCs的气体自吸收塔底部进入塔内，在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。

用RTO协同处理VOC与恶好的微电子行业废气处理臭废气药物合成车间废气的VOCs常为数千ppm，而废水处理站的废气VOCs仅为数十ppm，废水微电子行业废气处理方案处理站常含有恶臭物质。根据这两类废气的特点与企业生产特点，结合各类废气处理工艺，通过统一规划与设计，采取RTO协同处理合成车间废气与废水处理站废气的办法。该办法具有以下优点：同时处理较高浓度与低浓度废气，能耗低，能达到较高的废气处理深度，达到当地严格的排放标准。需要注意的是进RTO处理系统的VOC浓度不能过高，一般控制在爆炸下限的25%以下，否则需进行稀释处理。含尘及酸性废气需要预处理，除去去除绝大部分无机酸，减少堵塞与腐蚀，为保证安全，RTO禁止混入氢气、甲烷气、乙烯等危险性较大的废气。

在经过相关部门对好的微电子行业废气处理医药废气的控制以及医药废气处理后明显有所改善，但是并未得到良好的完善，医药行业中还微电子行业废气处理方案是存在较明显的医药废气处理问题。一些医药废气严重污染空气的企业，在治理无效后均进行关闭，从而良好的改善医药生产企业，周边空气环境的改善，空气中的污染指数明显有所下降，医药废气处理应结合根本性废气排放进行处理。从而达到良好的废气排放效果，降低周边环境的污染，经过对医药溶剂长期的控制治理，已较好的降低了废气排放指数。